Medição da rugosidade da superfície

Plataforma de metrologia óptica de alta precisão mg-óptica
Capacidade de teste de precisão extrema : A precisão do teste pode atingir os níveis sub-nanométricos, com a repetibilidade melhor que 0,06nm. Também pode detectar os efeitos da gravidade, estresse, vibração e distúrbios do ar.
Capacidade de teste de superfície de várias variedades : para componentes de superfície única, ele pode medir a precisão da superfície do espelho asférico óptico e óptico e superfícies de forma livre, com tamanhos de até 2 metros ou mais. Para componentes multi-superfície, ele pode detectar planicidade, paralelismo, perpendicularidade e outras tolerâncias geométricas e fornecer orientação de processamento e otimização de dados para fabricação. Para rugosidade da superfície, a precisão do teste é melhor que 0,08 nm.

Interferômetro de luz branca (ZYGO) Newview 9000

Refletindo a rugosidade da superfície, a altura da etapa, as dimensões das partes críticas e a morfologia da amostra com base na técnica de interferência de luz branca.
Precisão da medição da superfície melhor que 0,08 nm.
Precisão da medição da etapa ≤ 0,75%;

Repetibilidade ≤ 0,1% a 1σ.
RMS Repetibilidade: <0,005nm @ 1σ.
Com 1x, 0,5x, 2x oculares.
Com lentes objetivas de 10x, 20x, 50x.

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