Fabricação de espelho asférico de 720 mm

3. Polimento de rotação: O polimento áspero melhora ainda mais a rugosidade da superfície e a precisão da superfície dos espelhos asféricos da abertura maior. As cabeças pequenas de moagem do CNC ainda são usadas para polimento áspero, e o final do final do estágio MRF-magnetorheological também está envolvido. Após o polimento áspero, a superfície do espelho entra no estágio da metrologia de interferência e pode entrar no estágio de revestimento SI após o valor da precisão da superfície RMS é melhor que 1/10 λ.

4. Si do revestimento: o material em branco do espelho de um espelho asférico de grande abertura SiC geralmente usa o material SiC de reação, que tem uma densidade ligeiramente menor em comparação com o material SiC sintel. Para melhorar a refletividade do espelho asférico maior da abertura SiC, uma camada de Si é plaqueada na superfície do espelho para melhorar a densidade da superfície.

5. Polimento das finas: Após a modificação, o espelho asférico maior da abertura entra no estágio de polimento fino. As cabeças pequenas de moagem do CNC, o polimento do lap de tensão e o acabamento MRF-magnetorheological são frequentemente usados ​​no estágio inicial de polimento fino para remover a camada relativamente solta na superfície modificada. Posteriormente, as pequenas cabeças de moagem do CNC, juntamente com a figura de feixe de íons, são usadas para refinar a precisão da superfície aos requisitos de projeto. Atualmente, a precisão da superfície de espelhos asféricos maiores de abertura SiC pode ser processada para um valor RMS de diâmetro completo melhor que 1/60 λ ou ainda melhor.

Após vários anos de acumulação técnica, a MG-Optics atualmente tem a capacidade de desenvolver todo o processo de espelho asférico SiC de grande abertura. Um conjunto de espelho asférico SiC de 720 mm de diâmetro de grande abertura foi concluído com uma precisão da superfície final, valor RMS de diâmetro completo melhor que 1/60 λ.