Tecnologia de processamento de espelho asférico de metal

Os espelhos metálicos podem ser totalmente leves projetados, e a instalação e ajuste de integração-mecânica óptica podem ser projetados para simplificar a estrutura do suporte traseiro do espelho.

Os materiais de metal são geralmente obtidos pela fundição. Os materiais metálicos têm boa condutividade térmica, coeficiente de expansão relativamente grande e são facilmente afetados pela temperatura. No entanto, os materiais metálicos têm as vantagens da boa tecnologia de processamento e do curto tempo de aquisição. Geralmente, usamos no sistema óptico são espelho asféricos de alumínio e espelho asférico de liga Ni-P.

Os principais pontos da tecnologia de processamento:

1. O giro de diamante de ponto do ponto é um processo indispensável e importante para o processamento de espelho de metal. A tecnologia de torneamento de ultra-precisão (tecnologia STDP) usa ferramentas de torneamento de diamantes para realizar a remoção determinística de material em espelhos de metal rotativos. Após girar, a precisão da superfície pode ser alcançada melhor que λ/10 (λ = 632,8nm) e a rugosidade da superfície pode ser melhor que 2Nm. Como mostra a figura abaixo.

2. Embora o espelho de metal possa obter uma melhor precisão e rugosidade da superfície após girar, devido ao princípio de girar, haverá marcas de ferramentas de giro na superfície do espelho de metal, mesmo que seja invisível a olho nu, isso causará Certos danos ao sistema óptico. Portanto, depois de girar, a superfície precisa ser polida. Alguns espelhos de metal serão revestidos com camadas em suas superfícies (como espelhos de liga be-al, espelhos 6061 domésticos, etc.) e depois polir após o revestimento. Como mostra o processo abaixo.

3.A dureza dos espelhos de metal é relativamente baixa e os arranhões são fáceis de ocorrer na superfície durante o processo de polimento, o que também pode acelerar a oxidação da superfície. É difícil obter uma boa superfície do espelho, e uma solução comum é fazer o revestimento de metal na superfície. A diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato espelho e a camada modificada deve ser levada em consideração para evitar o efeito bimetálico (após o revestimento, a precisão da superfície do espelho muda com a temperatura). O processo de revestimento de superfície de espelho de espelho de metal comumente usado é a camada Ni-P, com densidade uniforme e alta dureza. Após o polimento, pode-se alcançar a precisão e rugosidade da superfície de alta precisão.

4. Após a reviravolta de diamante de ponto único do espelho de metal, a precisão da superfície e a rugosidade são relativamente altas e pode entrar diretamente no estágio de teste interferométrico. De acordo com o projeto do caminho óptico de teste, o interferômetro a laser, o holograma gerado por computador (CGH) e o quadro de ajuste são dispostos para testes interferométricos. Após a precisão da superfície atender aos requisitos (por exemplo, λ1/50, λ = 632,8nm), o espelho pode ser revestido e entregue.